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[반도체] 전공정 오버레이 장비 / 웨이퍼

상짱 2025. 3. 16. 22:22
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- 전공정 오버레이 장비

반도체 전공정에서 회로 선폭을 정밀하게 조절하는 장비이다.

반도체 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 하는 계측 장비이다.

이 장비는 웨이퍼 위에 쌓이는 각 층의 패턴이 정확히 정렬되었는지를 확인하는 데 사용된다.

이를 통해 공정 중 발생할 수 있는 오차를 최소화하고, 제품의 품질과 생산성을 높이는 데 기여한다.

 

- 주요 특징
정밀도: 나노 단위의 오차를 측정하여 공정의 정확성을 보장한다.
속도: 빠른 계측 속도로 생산 라인의 효율성을 유지한다.
적용 범위: 다양한 공정 단계에서 사용 가능하며, 특히 미세화 및 고단화된 반도체 공정에서 필수적이다.

 

- 오로스테크놀로지
2011년 국내 최초로 오버레이 계측장비 양산에 성공하고, 세계 반도체 시장의 주요 고객사에 공급해 오고 있다.

 


- 웨이퍼(Wafer)

반도체 산업에서 핵심적인 역할을 하는 얇고 평평한 디스크 형태의 재료이다.

주로 실리콘(Si)으로 만들어지며, 반도체 칩을 생산하는 기본 재료로 사용된다.

웨이퍼 위에 여러 층의 회로를 정확히 쌓는 기술이 중요하며, 이를 위해 오버레이 장비 같은 고도의 계측 기술이 필요하다.
반도체 칩의 시작점으로, 반도체 제조 공정의 핵심 기초 재료라 할 수 있다.

- 제조 과정
웨이퍼는 순도 높은 실리콘 덩어리(인곳, Ingot)를 얇게 절단한 뒤, 표면을 매끄럽게 연마하여 제작된다.
이후 특정 공정을 거쳐 전자 회로를 새기고 기능을 부여하는 칩으로 전환된다.

 

- 용도
컴퓨터 프로세서, 메모리, 스마트폰, 자동차 전장 시스템 등 다양한 전자 제품에서 사용되는 반도체 칩의 기반이다.
광학 센서, 태양광 패널 등에서도 활용된다.

- SK실트론
한국의 유일한 실리콘 웨이퍼 관련주로, 비상장 회사이다.

 

- 실리콘 웨이퍼 관련주

신에츠화학공업(일본)
섬코(일본)
실트로닉(독일)
SK실트론(한국)
글로벌웨이퍼스(대만)

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